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Sistemas microelectromecánicos

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El término sistemas microelectromecánicos o SMEM​​ —del inglés microelectromechanical systems (MEMS)— se refiere a la tecnología electromecánica de dispositivos microscópicos, sobre todo los que tiene partes móviles. El concepto fusiona a una nanoescala los sistemas nanoelectromecánicos (SNEM) y la nanotecnología. Los SMEM son también denominados micromáquinas en Japón o tecnología de microsistemas (MST) en Europa. Uno de los mayores problemas que enfrentan los SMEM autónomos es la ausencia de micro fuentes de energía con alta densidad de corriente, potencia y capacidad eléctrica.

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El término sistemas microelectromecánicos o SMEM​​ —del inglés microelectromechanical systems (MEMS)— se refiere a la tecnología electromecánica de dispositivos microscópicos, sobre todo los que tiene partes móviles. El concepto fusiona a una nanoescala los sistemas nanoelectromecánicos (SNEM) y la nanotecnología. Los SMEM son también denominados micromáquinas en Japón o tecnología de microsistemas (MST) en Europa. Los SMEM son independientes y distintos de la hipotética visión de la nanotecnología molecular o Electrónica Molecular. Los SMEM en general varían en tamaño desde un micrómetro (una millonésima parte de un metro) a un milímetro (milésima parte de un metro). En este nivel de escala de tamaño, las construcciones de la física clásica no son siempre ciertas. Debido a la gran superficie en relación al volumen de los SMEM, los efectos de superficie como electrostática y viscosidad dominan los efectos de volumen tales como la inercia o la masa térmica. El análisis de elementos finitos es una parte importante del diseño de los SMEM. La tecnología de sensores ha hecho progresos significativos debido a los SMEM. La complejidad y el rendimiento avanzado de los sensores SMEM ha ido evolucionando con las diferentes generaciones de sensores SMEM.​ El potencial de las máquinas muy pequeñas fue apreciado mucho antes de que existiera la tecnología que pudiera construirlas - véase, por ejemplo, la famosa charla de 1959 de Richard Feynman "Hay mucho espacio en lo pequeño". Los SMEM se convirtieron en prácticos una vez que pudieran ser fabricados adaptando y modificando tecnologías de fabricación de semiconductores, normalmente utilizadas en electrónica. Entre las técnicas creadas se cuentan nuevos conceptos de moldeo y galvanoplastia, grabado húmedo (KOH, TMAH) y grabado en seco (RIE y DRIE), el mecanizado por electro descarga (EDM), y otras tecnologías necesarias para fabricar dispositivos muy pequeños. Existen empresas grandes y pequeñas con importantes programas SMEM. Las empresas más grandes se especializan en la fabricación seriada de grandes cantidades de componentes de bajo costo o paquetes de soluciones para los mercados tales como el automotriz, biomedicina, y electrónica. El éxito de las pequeñas empresas es ofrecer valor en soluciones innovadoras y absorber el costo de fabricación con altos márgenes de ventas. Tanto las empresas grandes como las pequeñas realizan trabajos de investigación y desarrollo para explorar y avanzar en la tecnología SMEM. Uno de los mayores problemas que enfrentan los SMEM autónomos es la ausencia de micro fuentes de energía con alta densidad de corriente, potencia y capacidad eléctrica.

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