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- El término sistemas microelectromecánicos o SMEM —del inglés microelectromechanical systems (MEMS)— se refiere a la tecnología electromecánica de dispositivos microscópicos, sobre todo los que tiene partes móviles. El concepto fusiona a una nanoescala los sistemas nanoelectromecánicos (SNEM) y la nanotecnología. Los SMEM son también denominados micromáquinas en Japón o tecnología de microsistemas (MST) en Europa. Los SMEM son independientes y distintos de la hipotética visión de la nanotecnología molecular o Electrónica Molecular. Los SMEM en general varían en tamaño desde un micrómetro (una millonésima parte de un metro) a un milímetro (milésima parte de un metro). En este nivel de escala de tamaño, las construcciones de la física clásica no son siempre ciertas. Debido a la gran superficie en relación al volumen de los SMEM, los efectos de superficie como electrostática y viscosidad dominan los efectos de volumen tales como la inercia o la masa térmica. El análisis de elementos finitos es una parte importante del diseño de los SMEM. La tecnología de sensores ha hecho progresos significativos debido a los SMEM. La complejidad y el rendimiento avanzado de los sensores SMEM ha ido evolucionando con las diferentes generaciones de sensores SMEM. El potencial de las máquinas muy pequeñas fue apreciado mucho antes de que existiera la tecnología que pudiera construirlas - véase, por ejemplo, la famosa charla de 1959 de Richard Feynman "Hay mucho espacio en lo pequeño". Los SMEM se convirtieron en prácticos una vez que pudieran ser fabricados adaptando y modificando tecnologías de fabricación de semiconductores, normalmente utilizadas en electrónica. Entre las técnicas creadas se cuentan nuevos conceptos de moldeo y galvanoplastia, grabado húmedo (KOH, TMAH) y grabado en seco (RIE y DRIE), el mecanizado por electro descarga (EDM), y otras tecnologías necesarias para fabricar dispositivos muy pequeños. Existen empresas grandes y pequeñas con importantes programas SMEM. Las empresas más grandes se especializan en la fabricación seriada de grandes cantidades de componentes de bajo costo o paquetes de soluciones para los mercados tales como el automotriz, biomedicina, y electrónica. El éxito de las pequeñas empresas es ofrecer valor en soluciones innovadoras y absorber el costo de fabricación con altos márgenes de ventas. Tanto las empresas grandes como las pequeñas realizan trabajos de investigación y desarrollo para explorar y avanzar en la tecnología SMEM. Uno de los mayores problemas que enfrentan los SMEM autónomos es la ausencia de micro fuentes de energía con alta densidad de corriente, potencia y capacidad eléctrica. (es)
- El término sistemas microelectromecánicos o SMEM —del inglés microelectromechanical systems (MEMS)— se refiere a la tecnología electromecánica de dispositivos microscópicos, sobre todo los que tiene partes móviles. El concepto fusiona a una nanoescala los sistemas nanoelectromecánicos (SNEM) y la nanotecnología. Los SMEM son también denominados micromáquinas en Japón o tecnología de microsistemas (MST) en Europa. Los SMEM son independientes y distintos de la hipotética visión de la nanotecnología molecular o Electrónica Molecular. Los SMEM en general varían en tamaño desde un micrómetro (una millonésima parte de un metro) a un milímetro (milésima parte de un metro). En este nivel de escala de tamaño, las construcciones de la física clásica no son siempre ciertas. Debido a la gran superficie en relación al volumen de los SMEM, los efectos de superficie como electrostática y viscosidad dominan los efectos de volumen tales como la inercia o la masa térmica. El análisis de elementos finitos es una parte importante del diseño de los SMEM. La tecnología de sensores ha hecho progresos significativos debido a los SMEM. La complejidad y el rendimiento avanzado de los sensores SMEM ha ido evolucionando con las diferentes generaciones de sensores SMEM. El potencial de las máquinas muy pequeñas fue apreciado mucho antes de que existiera la tecnología que pudiera construirlas - véase, por ejemplo, la famosa charla de 1959 de Richard Feynman "Hay mucho espacio en lo pequeño". Los SMEM se convirtieron en prácticos una vez que pudieran ser fabricados adaptando y modificando tecnologías de fabricación de semiconductores, normalmente utilizadas en electrónica. Entre las técnicas creadas se cuentan nuevos conceptos de moldeo y galvanoplastia, grabado húmedo (KOH, TMAH) y grabado en seco (RIE y DRIE), el mecanizado por electro descarga (EDM), y otras tecnologías necesarias para fabricar dispositivos muy pequeños. Existen empresas grandes y pequeñas con importantes programas SMEM. Las empresas más grandes se especializan en la fabricación seriada de grandes cantidades de componentes de bajo costo o paquetes de soluciones para los mercados tales como el automotriz, biomedicina, y electrónica. El éxito de las pequeñas empresas es ofrecer valor en soluciones innovadoras y absorber el costo de fabricación con altos márgenes de ventas. Tanto las empresas grandes como las pequeñas realizan trabajos de investigación y desarrollo para explorar y avanzar en la tecnología SMEM. Uno de los mayores problemas que enfrentan los SMEM autónomos es la ausencia de micro fuentes de energía con alta densidad de corriente, potencia y capacidad eléctrica. (es)
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